谈磁场微机电系统磁场传感器信号处理电路论文参考文献

谈磁场微机电系统磁场传感器信号处理电路论文参考文献

文章导读:、工业、军事等领域,尤其是汽车领域。20世纪90年代以来,微电子机械技术的发展为磁场传感器制造提供了更多的选择,并且由于增加了可动结构,使得微机电系统传感器具有了多种结构形式,例如利用洛伦兹力驱动MEMS微结构扭转、弯曲和平动等,磁场强度及方向则采用压阻、压电、频率或光学测量的方法进行表征。与大多数MEMS传感器相似
磁场传感器发展迅速,其广泛应用于消费、工业、军事等领域,尤其是汽车领域。20世纪90年代以来,微电子机械技术的发展为磁场传感器制造提供了更多的选择,并且由于增加了可动结构,使得微机电系统传感器具有了多种结构形式,例如利用洛伦兹力驱动MEMS微结构扭转、弯曲和平动等,磁场强度及方向则采用压阻、压电、频率或光学测量的方法进行表征。与大多数MEMS传感器相似,传感信号通常都比较微弱,需要进行信号的有效放大,并且需要充分考虑噪声的问题,采用载波信号加低通滤波或者放大信号加低通滤波来实现。所以,传感器的微弱信号检测是一个重要的问

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题。为便于将来实现MEMS磁场传感器与信号处理电路的集成,检测电路还必须具备以下特点:灵敏度高、复杂性低、所用元件便于集成制造等。
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